Prodotti per il controllo del movimento per ambienti in ultra alto vuoto

In occasione del Vacuum Expo, svolto all'International Centre di Telford, UK, dal 3 al 4 novembre, Renishaw ha presentato i suoi encoder per feedback di posizione, studiati in modo specifico per l'utilizzo in condizioni di ultra alto vuoto.

26.10.10

I prodotti presentati alla fiera includono la nuova serie di encoder UHV TONiC™, disponibili in formato lineare e angolare, che uniscono i vantaggi delle righe lineari (elevata accuratezza, tacche di zero ottiche, feedback di posizione estremamente affidabile, eccezionale robustezza) a un'incredibile semplicità di installazione.

Tutti gli encoder UHV di Renishaw sono costruiti con materiali e adesivi adatti a condizioni di vuoto, per ridurre la degassificazione e fornire un’analisi RGA pulita. Inoltre sono adatti per temperature di bakeout di 120°C. Tutti risultano compatibili con applicazioni scientifiche e su semiconduttori ad alte prestazioni.

Come avviene con la serie standard di lettori TONiC, le nuove varianti UHV utilizzano ottiche di filtraggio Renishaw di ultima generazione, ottimizzate per un rumore estremamente ridotto. Oltre al design innovativo delle ottiche, il sistema sfrutta l'elaborazione dinamica dei segnali, inclusi controllo automatico del guadagno (AGC) e controllo automatico dell'offset (AOC). Come risultato si ottengono segnali in uscita di straordinaria purezza, con SDE di ±30 nm, jitter di circa 0,5 nm RMS e risoluzioni fino a 1 nm.

Tutte le righe TONiC includono la tacca di zero IN-TRAC™, inserita direttamente all'interno del canale incrementale, per consentirne la fasatura elettronica automatica con la sola pressione di un pulsante (un'operazione che finora poteva essere eseguita solo in remoto). Un altro vantaggio della tacca di zero IN-TRAC è la capacità di rimanere in fase a qualsiasi velocità e a tutte le temperature di funzionamento.

Per quanto riguarda il feedback di posizione lineare con la serie TONiC UHV, i progettisti di sistemi di movimento possono scegliere fra molte righe diverse, ciascuna con spettri di emissione residua di gas puliti. Fra queste sono incluse le righe rigide RELM in invar con coefficiente di espansione termica pari a zero e una accuratezza totale garantita entro ±1 µm su lunghezze massime di 1130 mm. La stessa serie include anche le righe rigide in acciaio inox RSLM a elevata accuratezza e le righe a nastro RTLC, oltre alle rinomate righe a nostro RGSZ.

Per le applicazioni rotative, il lettore per encoder angolare TONiC UHV è compatibile con i supporti graduati angolari di precisione Renishaw con tacche di zero ottiche IN-TRAC, inclusi gli anelli a elevata accuratezza RESM e REXM. Gli anelli RESM sono costruiti in acciaio inox serie 300 senza alcun rivestimento per consentirne pulizie specialistiche e sgrassatura. Per semplificarne il design, gli anelli sono dotati di un ampio foro passante con sezione trasversale ridotta e un sistema di montaggio brevettato che consente regolazioni fini. Per i progettisti che cercano assi rotanti dalle prestazioni particolarmente elevate, la scelta ideale è costituita dagli anelli REXM ad altissima accuratezza, che possono essere utilizzati con due lettori UHV per un'accuratezza totale (a sistema installato) migliore di ±1 secondo d'angolo.

Ulteriori informazioni sulla serie completa di encoder.

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